JULABO溫度控制器可以減少生產(chǎn)時(shí)間

JULABO溫度控制器可以減少生產(chǎn)時(shí)間

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的許多工藝都必須精確控制溫度。在幾乎無(wú)限個(gè)單獨(dú)的步驟中，應(yīng)用極薄的層，部分遮蓋，并以絕對(duì)精度去除未遮蔽的部件。蝕刻槽必須保持在最佳溫度范圍內(nèi)，以保持濕化學(xué)工藝中的蝕刻速率恒定和可預(yù)測(cè)。這需要使用絕對(duì)精確和可靠的溫度控制解決方案，這些解決方案針對(duì)各自的應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行了理想的校準(zhǔn)。

平衡的溫度控制系統(tǒng)不僅可以改善生產(chǎn)結(jié)果，還可以提高過(guò)程可靠性并減少生產(chǎn)時(shí)間、成本和維護(hù)。

看起來(lái)像堡壘的導(dǎo)電路徑的生產(chǎn)需要納米范圍內(nèi)的絕對(duì)精度。

蝕刻速率（每次材料去除率）必須知道最小的細(xì)節(jié)，沈陽(yáng)漢達(dá)森yyds吳亞男并盡可能長(zhǎng)時(shí)間地保持恒定，以實(shí)現(xiàn)納米范圍內(nèi)的精度。此外，反應(yīng)產(chǎn)物必須立即溶解，以免污染蝕刻液。

由于反應(yīng)伙伴溶解在蝕刻液中，其濃度也隨著加工晶片數(shù)量的增加而降低，這就是為什么必須定期更換的原因。除了濃度之外，蝕刻槽的溫度尤其對(duì)蝕刻速率有直接影響，因?yàn)殡S著溫度的升高，化學(xué)溶液通常會(huì)變得更加反應(yīng)。此外，溫度會(huì)影響反應(yīng)產(chǎn)物的溶解速度。

JULABO型號(hào)

CORIO CD-200F

恒溫器 PRESTO W40 

CORIO CP-450F

SW22, SW23, TW20

CORIO CD-B33

CF31

蝕刻槽的溫度在半導(dǎo)體工業(yè)中起著核心作用。蝕刻槽的最小溫度偏差已經(jīng)會(huì)產(chǎn)生災(zāi)難性的后果，并使整個(gè)晶圓無(wú)法使用。因此，在濕化學(xué)加工中僅使用高精度和故障安全的溫度控制系統(tǒng)。它們必須能夠準(zhǔn)確地將溫度保持在目標(biāo)范圍內(nèi)，并對(duì)溫度偏差做出快速反應(yīng)。此外，更換蝕刻液時(shí)，它們必須快速恢復(fù)蝕刻槽的正確溫度，以確保恒定的生產(chǎn)流程。

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